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真空燒結(jié)爐可以用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金,磁性材料和不銹鋼等不同情況下使用。在實踐中,真空燒結(jié)機是在壓力下進行(壓力降低)的燒成。在較高的真空條件下,在較靠近于中性的環(huán)境下,其與物質(zhì)之間的化學反應(yīng)越少,是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。我們下面來介紹下,不同情況下真空燒結(jié)爐的不同測量方法:
1、極限壓力的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)進行試驗。按正常工作條件啟動真空泵,直到爐內(nèi)壓力達到的低值即為爐子的極限壓力。
2、抽氣時間的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進行抽空,從爐內(nèi)壓力為大氣壓開始到爐內(nèi)真空度達到產(chǎn)品標準中規(guī)定的極限壓力為止的時間即為真空爐抽氣時間。油擴散泵和油增壓泵的預(yù)熱時間不包括在內(nèi)。
3、最高溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進行抽空,當爐子真空度達到5Pa時開始加熱,溫度達到設(shè)計的最高溫度時,保溫10min,此溫度即為爐子的最高溫度。
4、工作溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進行抽空,當爐子真空度達到5Pa時開始加熱,溫度達到設(shè)定的工作溫度時,至少保溫2h,此溫度即為爐子的工作溫度。
5、爐溫均勻性的測量
試驗規(guī)定如下:將測量爐溫均勻性的試驗框架(-般為長方體)放進真空爐,取長方體的八個相交點和長方體中心點共九點并與從爐體外引進的九個熱電偶相接,然后關(guān)上爐門抽空。當爐子真空度達到5Pa時開始加熱,爐子溫度達到800"C(最高溫度為1100C以下的真空爐,不含1100C)或1100C(最高溫度為1100C~2400C的真空爐)時,保溫2h,然后用同一一個電位差計測量每個點的溫度,再算出各點的溫差即為爐子的爐溫均勻性。
6、真空爐控溫精度的測量(不含單點控溫)
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進行抽空,當爐子真空度達到5Pa時開始加熱,溫度達到設(shè)定的溫度時,保溫30min,此時經(jīng)過校驗的主控和輔控溫度表之間的差值即為真空爐的控溫精度。